我司高温气相沉积炉通过客户验收
可达到如下性能：
（1） 沉积室温度：最高2600℃，2500℃下可持续工作1小时以上，升降温速率1℃/min可控，200~3000℃可测；
（2） 沉积室压力：300~3000pa稳定可控；
（3） 沉积室尺寸：直径300mm，高600mm；
（4） 气体种类：ar、n2、ch4/c3h8，要求流量可控，下进上出；
（5） 物料下进下出，装卸方便；
（6） 报警保护：缺水、短路、过流、过压报警保护；
（7） 环保要求：配有气体过滤系统，最终排出尾气达到国家环保要求。
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