scms | 卷对卷化学气相沉积法制备石墨烯
来源：石墨烯联盟
批到批(b2b)和卷到卷(r2r)工艺均可用于石墨烯薄膜的大规模生产。由于设备简单，b2b工艺在实验室研究中非常普遍。相对而言，r2r工艺更容易自动化，并且与随后的转移过程更兼容，因此在工业上更受青睐。目前，对r2r工艺的研究主要集中在反应器设计或装料结构等方面，对石墨烯生长动力学缺乏深入的了解。
近日，电子科技大学李雪松教授等人在science china materials发表研究论文，通过研究石墨烯的生长演化过程，发现在相同的反应参数下，r2r工艺的石墨烯晶畴密度大于b2b工艺的石墨烯畴密度，其原因归结于两种工艺不同的反应过程；而通过延长反应时间，可以对石墨烯薄膜的缺陷进行修复。在优化的r2r工艺下，可以获得与常规b2b工艺相当的高质量石墨烯薄膜。
图1 不同流速下，石墨烯的生长演化过程。
本工作可促进石墨烯薄膜制备技术的发展。