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化学气相沉积炉-凯发旗舰厅官网

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化学气相沉积炉

类型:感应炉

应用:卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体(如c3h8、ch4等)为碳源的材料表面或基体的cvd/cvi处理

  • 概述
  • 规格
  • 特点

 

 

型号

功率

温度

φ300*600

100kw

2500°

φ500*1000

200kw

2500°

φ800*2000

400kw

2500°

φ1500*2500

1000kw

2500°

 主要技术指标及要求:

(1)   沉积室温度:最高2600℃,2500℃下可持续工作1小时以上,升降温速率1/min可控,200~3000℃可测;

(2)   沉积室压力:300~3000pa稳定可控;

(3)   沉积室尺寸:直径300mm,高600mm

(4)   气体种类:arn2ch4/c3h8,要求流量可控,下进上出;

(5)   物料下进下出,装卸方便;

(6)   报警保护:缺水、短路、过流、过压报警保护;

(7)   环保要求:配有气体过滤系统,最终排出尾气达到国家环保要求。

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