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氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉

类型:感应炉

加工的原料:二氧化亚硅、单质硅等材料

应用: 氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,适用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。

  • 概述
  • 规格
  • 特点

 氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,适用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉有非常完善的可控硅超载、短路和误触发,和过压保护,可在真空或惰性气体环境下工作。

型号

额定功率kw

炉膛尺寸mm×mm

收集区容积l

最高温度℃

腔体数

控温精度

极限真空度

ntg-cjl-40w

40

φ400×500

31.4

左边1400、右边1100

2

±1

10-3

ntg-cjl-60w

60

φ500×1050

103

左边1400、右边1100

2

±1

10-3

ntg-cjl-120w

120

φ600×2000

282.6

左边1400、右边1100

2

±1

10-3

   氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉主要特点:

1、新结构相比传统结构温度均匀性更好,保证了碳材料烧结时对温差的敏感。

2、高精度热电偶分区测温,保证测温精度。

3、采用数显化智能控温系统,全自动高精度完成测温控温过程,系统可按给定升温曲线升温,并可贮存四条共40段不同的工艺          加热曲线。

4、设备具有测量记录功能,可记录万次数据,数据可通过历史曲线追忆。

5、具备usb界面,可随时将记录的历史数据转存到u盘上。

6、采用内循环纯水冷却系统;数字式水温监控系统。

7、炉体转换采用高性能中频接触器;

8、全面的plc水、电、气自动控制和保护系统。

9、非常完善的可控硅超载、短路和误触发,和过压保护。

10、整机多通道数据采集,并于人机界面显示与操作,整机运行参数一目了然,易于操作。

11、炉体:双层水冷结构,可抽负压真空;具有真空管道界面,增加真空破坏阀,充气孔。

12、操作方便:炉体采用卧式,中间开门,装料卸料方便,操作简单。

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